XE7经济型AFM
XE-7 经济型原子力显微镜
概述
无与伦比的高性能
在同级产品中，Park XE7能够带来最高纳米级分辨率的测量效果。得益于独特的原子力显微镜架构，即独立的XY轴和Z轴柔性扫描器，XE7能够实现平滑、正交且线性的扫描测量，从而精确成像和测量样品的特征。此外，Park所独有的True Non-Contact™模式还能为您带来前所未有的图像效果，探针可以在多次扫描后图像的分辨率仍不会受影响。
高效且易于使用
Park XE7拥有简洁的图形用户界面和自动化工具，即便是初学者也可以快速地完成对样品的扫描。无论是预准直探针、简单的样品和探针更换、轻松的激光准直、自上而下的同轴视角以及用户友好型扫描控制和软件处理，XE7能够全力推动研究生产力的提高。
兼顾当前需求和未来升级
在Park XE7的帮助下，现在与未来皆在您的掌控中。Park XE7带有业内最多数量的测量模式。这些模式不仅能满足您目前的需求，也考虑到未来不断变化的需求。再者，XE7具有市场上最开源的设计，允许您整合其他附件和仪器，从而满足您特殊的研究需求。
经济实用
Park XE7不仅仅是最经济实惠的研究级原子力显微镜，也是总体成本最低的原子力显微镜。Park XE7中所搭载的True Non-Contact™模式让用户无需频繁更换昂贵的探针尖端，并且它配有业内最多的扫描模式，兼容性极佳，让您可随时升级系统功能，从而延长产品的使用寿命。
技术信息
通过消除串扰进行准确的XY扫描
Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率最高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz)。
图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动最大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 µm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以精确地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。
通过通过真正的非接触™模式获得最真实的表面形貌
在True Non-Contact™模式中，探针尖端与样品的距离在相互原子力的控制下，被成功地控制在几纳米之间。探针尖端振动幅度下，大大减少了探针与样品的接触，从而完好地保护了探针和样品。
针尖寿命更长，样品损坏更少
原子力显微镜探针的尖端十分脆弱，这使得它在接触样品后会快速变钝，从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品，探针会破坏样品，导致其高度测量不准确。相应地，探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的精确数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针，从而延长其寿命，并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像，该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后，探针几乎有没任何磨损。
Park XE7特性
-
二维柔性平板扫描仪，扫描范围为10 µm x 10 µm
XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运动最少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。紧凑且坚固的结构是为了低噪声高速伺服回应而设计的。 -
柔性High Force Z扫描仪
凭借着高强度压电叠堆和柔性结构，其可以允许扫描器以更高的速度纵向移动，这是传统原子力显微镜中扫描器所无法做到的。最大Z轴扫描范围可从标准的12 µm增至40µm（选购远距离Z轴扫描器）。 -
滑动链接SLD
燕尾式轨道设计，轻松更换原子力显微镜镜头。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性，显微镜可精确成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距光谱。此外，超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题，让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。
-
无障碍样品架
独特的镜头设计可扫描尺寸最高为100 mm的样品，且可轻易从侧面更换样品和探针。 -
手动XY样品台
在手动XY轴样品台的精确控制下，样品的测量定位变得简单。XY轴样品台的行程范围是13 mm x 13 mm。 手动光学平台
同轴镜头可手动调焦。带有控制器板中的DSP板的Park XE控制电子设备
原子力显微镜的纳米级信号是由高性能的Park XE电子控制器所控制和处理的。凭借着低噪声设计和高速处理单元，Park XE电子控制器成功实现了True Non-Contact™模式，这是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。- 高性能处理单元，频率达600 MHz，处理速度高达4800 MIPS
- 低噪声设计，带来精确的电流电压测量
- 全能系统，融合各种扫描探针显微镜技术
- 外部信号获取模块，获取原子力显微镜输入/输出信号
- 最大16幅数字图像
- 最大分辨率：4096 × 4096
- 16位ADC/DAC，频率为500 kHz
- 隔离通过TCP/IP连接的电脑电噪声
扫描模式
支持行业中最广泛的SPM模式和选项
现如今，研究院需要描述不同测量条件和样品条件下的各类物理性质。Park Systems带来业内最多的扫描探针显微镜模式、最多的原子力显微镜选择和最佳的兼容性和升级性，让样品先进的表征扫描变得简单。
