TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment™（TS300-SE）12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能环境。 它以最佳高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。

适用于多种晶圆量测应用

• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电值量测
• 内置防震系统
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可提供超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的测试环境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系统提供多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种搭配测试组合。

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。

独特的卡盘Z调整

TS300-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整（μm分辨率），可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。

1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈，另外20毫米气动举升机提供了便携式的一键升降程序。

多种卡盘选项

TS300-SE可提供多种卡盘选件，以满足不同的预算和应用要求。

MPI和ERS共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列，提供无与伦比的热弹性，温控时间可减少60%，同时还可提供市场上最大的热范围。

减少转换时间，改善电气性能，使在惰性气体环境下的测试更容易，另外的现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

卡盘有以下几种型号：同轴、三轴或RF、高压等多种型号，带有两个辅助陶瓷卡盘，可用于精确稳定的校准。

温度控制集成

晶圆装载门可在低于15°C的任何温度下锁定，此独特功能使TS300-SE成为市场上最安全的手动探针台。

此外，温控系统可以通过集成式的触摸屏进行操作，该触摸屏按人体工程学原理安装在探测器上的方便位置，以实现快速调整和即时反馈。

ERS独特的AC3冷却技术

MPI旗下探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术及其空气管理系统，可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可减少多达30％至50％的干燥空气消耗。

多种光学选项

MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™SZ10，高达12倍光学变焦的MegaZoom™MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统，90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。