白光干涉仪&轮廓仪
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪
白光干涉测量技术广泛应用于光滑与粗糙表面的三维形貌表征。垂直方向的测量精度可以达到纳米级别。 SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪拥有纳米级测试精度，外接PC或笔记本电脑进行实时数据分析。 SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪功能全面，轻松应对各种测试环境。电动XY双轴样品台匹配自动拼接程序，应对大面积测试任务。典型应用包括科学研究、质量控制和工艺管理。德国SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪具备如下优点：
- 通用型
- 精度高
- 测速快
- 稳定可靠
- 自动拼接
MountainsMAP表面分析软件与三维可视化测量报告
作为一款高品质的表面成像与分析软件，MountainsMAP适合实验室、研究机构及工厂各类机能表面的设计、测试或制造设备使用。 MountainsMAP拥有一整套全面的解决方案，专用于表面外观及形貌的成像与分析，提供详尽的三维可视化测量报告。
SmartWLI扩展型白光干涉三维轮廓仪技术参数
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测量系统 |
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量测原理 |
白光干涉 |
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Z轴定位系统 |
压电效应调节系统 |
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高度量测范围 |
最大可达400 μm |
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摄像头参数 |
CCD摄像头；1624x 1234相素 |
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干涉物镜系统 |
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放大倍数MAG 视场范围FOV (mm) 横向分辨率 (um) |
2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
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光源 |
LED |
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测试时间 |
通常＜20秒 |
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软件系统 |
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SmartWLI |
基于微软Win7操作系统，64位表面形貌测量软件；三维数据可通过接口直接传输至MountainsMap分析软件。 |
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MountainsMap |
三维数据分析软件，轮廓及三维影像结果输出、测量数据预处理及后处理、德标（DIN）欧标（ EN） ISO标准粗糙度及高度测定、串行处理及测试日志。 |
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输出文件格式 |
ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
部分测试结果展示
液态轴承
晶片
钻石工具
透镜工具
金属表面
汽车车身表面
粗糙度标准片
发动机汽缸
