利用我们功能强大的多功能原子力显微镜提高生产率
Park XE15具有众多的独特功能,是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的最佳选择。同时,合理的价格和稳健的功能使之成为业内最超值的大型样品原子力显微镜之一。
Park XE15具有众多的独特功能,是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的最佳选择。同时,合理的价格和稳健的功能使之成为业内最超值的大型样品原子力显微镜之一。
Park XE15能够一次性扫描和测量多个样品,让您的效率一高再高。您只需要将样品放入工作台,再启动扫描程序便可。该功能也可以让您在相同的环境条件下扫描样品,从而提高数据的精确性和稳定性。
与大多数的原子力显微镜不同,Park XE15可扫描最大尺寸为200 mm x 200 mm的样品。这样既满足了研究员对扫描大样品的需求,也让故障分析工程师能够扫描硅片。
Park XE15配有绝大多数的扫描模式,可扫描各种尺寸的样品。得益于此,Park XE15是共用实验室的最佳配置,能够满足每个人的需求。
借助电动样品台,MultiSample™扫描模式能够允许用户自行编程,借助自动化步进扫描,实现多区域成像。
流程如下:记录多个扫描位置十分简单,您可以输入样品-样品台坐标或使用两个参考点校正样品位置。该自动化功能大大减少您在扫描过程中需要的工作,极大提高了生产力。
Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置,并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材,其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品(1 kg左右),频率最高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求,因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率(约10 kHz)。
特别设计的多样品卡盘,可装载多达16个样品,可由MultiSample自动扫描模式按序扫描。借助独特的镜头设计,用户可从侧面轻易操作样品和探针。
支持Park行业中最广泛的SPM模式和选项
现如今,研究院需要描述不同测量条件和样品条件下的各类物理性质。Park Systems带来业内最多的扫描探针显微镜模式、最多的原子力显微镜选择和最佳的兼容性和升级性,让样品先进的表征扫描变得简单。