扫描电容显微镜-原理
描电容显微镜是一种动态EFM。在EFM中通常为[ 1 ] 。悬臂直接由V tip = V dc + V ac sin（wt）偏置，其中V ac称为驱动电压。根据在半接触模式下第一次扫描期间定义的轮廓，在样品表面上方的某个高度h上执行扫描。尖端与样品表面之间在电势V s下的电容力F cap（z）为
F cap（z）=（1/2）（V tip -V s）2（dC / dz）
其中C（z）是取决于笔尖几何形状，表面形貌和笔尖表面间距z的笔尖表面电容。
电容力的二次谐波仅取决于（dC / dz）和V ac
F cap2w（z）=（1/2）（dC / dz）V ac 2 sin（2wt）
并且可用于获取其他信息，例如样品上的表面容量分布。为了最大化二次谐波振荡，将交流频率w调整为等于悬臂共振频率w r的一半。
References
- Nanotechnology 12, 485 (2001).
- Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988).
- J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).